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平坦
低環境負荷な表面研磨技術を開発―アクリル板と水だけでガラス表面とシリコン表面を平坦化―
アクリル
(8)
ガラス
(65)
シリコン
(48)
平坦
(2)
技術
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環境
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研磨
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表面
(43)
負荷
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開発
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東大、アクリルと水だけでガラスやシリコン表面の平坦化する技術。低コストで実現 | スラド サイエンス
アクリル
(8)
ガラス
(65)
コスト
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サイエンス
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シリコン
(48)
実現
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平坦
(2)
技術
(3220)
東大
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表面
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