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平坦

• ナノインプリントリソグラフィ技術を応用したウエハー平坦化技術を世界で初めて実用化 先端半導体製造に求められる平坦度を飛躍的に向上 | キヤノングローバル
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• 低環境負荷な表面研磨技術を開発―アクリル板と水だけでガラス表面とシリコン表面を平坦化―
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• 東大、アクリルと水だけでガラスやシリコン表面の平坦化する技術。低コストで実現 | スラド サイエンス
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